ガス精製システム付きグローブボックス

構成と

量

技術的パラメータ

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1 メインチ​​ャンバー

L1900 x W760

x H900

厚さ3 mmのステンレス鋼304

角が丸いので掃除が簡単

透明1個

視覚化パネル

厚さ：10mm

厚さ10mmの強化窓ガラスの傾斜パネル。

1 脚サポート

高さ= 900mm

炭素鋼、キャスター付き（サポートフット付き）、便利な移動式グローブボックス、レベルの微調整

4つの棚

ステンレス鋼 SUS304

可動棚タイプ

長さ x 奥行き=800 x 200 mm

4 グローブポート

アルミニウム合金

∅220mm

オプション材質：ステンレス鋼/ ポリオキシメチレンポリマー

4 手袋

カフ径8インチ、

長さ800mm、

厚さ: 0.4mm

材質：ブチルゴム。

Oリングシール済み

ブランド: ノース(USA)

オプション素材: ネオプレン/ゴム

1 電源ボード

AC220V

AC220V 50Hz 単相

1 照明システム

ランプ、安定器

内蔵蛍光灯

ブランド：フィリップス（オランダ）

HEPAフィルター2個

HEPA基準に従う

Inlet and outlet filter can eliminate particle size >0.3 μm、キャビネットに設置

KF40 予備コネクタ 4 個

KF40

構成クイック コネクタはボックスの右側にあり、液体または気体をキャビネットに簡単かつ安全に出し入れできます。

材質：SUS304ステンレス

1 電気フィードスルー

接続して使用する

4 つの KF40 予備コネクタの 1 つに取り付けられます

1 気体/液体フィードスルー

接続して使用する

4 つの KF40 予備コネクタの 1 つに取り付けられます

構成と

量

技術的パラメータ

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1 ガス精製システム

単一精製カラム (GP-1);

閉ループガス再循環システム。

水除去、脱酸素機能付き。

ドイツ BASF 銅触媒材料、米国 UOP 効率的な吸収性モレキュラーシーブ材料、

再生プロセスの浄化システムは自動制御され、

ガス純度を長期的に維持し続ける: H2O & O2 < 1ppm。

脱酸素：40L

水分除去量：1.3kg

1 フットコントローラー

防水ダブルペダル

浄化システムを制御してキャビネット内の圧力を上昇および減圧します。

1 パージバルブ

電空バルブ

自動電空バルブ

ブランド: バーケルト

1 循環ブロワー

高速周波送風機

さまざまな速度の循環ポンプの高真空度。 ブロワー速度: 25L/S。

ブランド: 台湾ダルガン

2 パイプライン

ステンレス鋼 SUS304

ステンレスパイプライン

1 冷却システム

熱交換器1個を含む

Used for high temperature operation of users in the main chamber, which cause temperature >45度

圧力制御ユニット

+15 mbar ～ -15 mbar

(相対圧力)

自動制御によるボックス圧力。

フットペダルスイッチを使用して手動圧力制御が可能です（+15 mbarから-15 mbarまで）

圧力センサー: 米国 SETRA

コントローラ

Siemens 7 インチ HMI で制御されるプログラムされた論理制御

カラータッチスクリーンモニター

作業条件中の水分と酸素レベルの自動表示

ブランド: シーメンス。

水分・酸素制御システム

新しいアップグレードされたカラータッチスクリーン: 7 インチ

PLC制御システム、タッチスクリーン操作、

ブランド: シーメンス;

* 水分濃度: {{0}}ppm、精度は 0.1ppm

* 酸素濃度: {{0}}ppm、精度は 0.1ppm

* 自動システムデータロギング

構成と

量

技術的パラメータ

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1 大型真空前室

DN385×600mm

円筒型の前室、右側。

広い前室の中にスライド可能なトレイが 1 つあります。

タッチスクリーンによって自動的に制御されます。

ステンレス304

前室材質: ステンレス鋼 304、

ドアの材質：アルミニウム、陽極酸化処理、厚さ〜10 mm、操作が簡単です。

リーク率

<10^-5 mbar l/s

1 小型真空前室 (ツール用)

DN150×300mm

円筒型の前室、右側。

長さ方向 1/3_rd内側と2/3_{ティッカー}外。

3-方ガスバルブにより手動で操作します。

ステンレス鋼304

前室材質: ステンレス鋼 304、

ドアの材質: ステンレス鋼 304。

カバーの内側と外側にヒンジが付いており、取り扱いが簡単です。

リーク率

<10^-5mbar l/s

2 真空計

メカニカルダイヤル表示

大真空前室およびツール真空前室の真空値の測定に使用します。

ブランド: Wika (ドイツ)

構成と

量

技術的パラメータ

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1 真空ポンプ

4L/S

ガス排出を高速化する頑丈な二段ロータリーベーンポンプ、オイルシール、オイルミストフィルター付き。

真空度: 4L/S

ブランド：中国ブランド/英国エドワーズブランド/日本アルバックブランド

1 酸素

アナライザ

{{0}}ppm、精度は 0.1ppm

タッチスクリーンディスプレイ。

酸素センサーは1ppm未満を検出できました。

ブランド: USA AII

1 水分析装置

{{0}}ppm、精度は 0.1ppm

タッチスクリーンディスプレイ。

水分センサーは1ppm未満を検出できました。

ブランド: UK MICHEL